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高安市多發(fā)汽運(yùn)有限公司

上海LCD觸摸屏用光刻膠

發(fā)布時(shí)間:    來源:高安市多發(fā)汽運(yùn)有限公司   閱覽次數(shù):9759次

光刻膠主要由主體材料、光敏材料、其他添加劑和溶劑組成。從化學(xué)材料角度來看,光刻膠內(nèi)重要的成分是主體材料和光敏材料。光敏材料在光照下產(chǎn)生活性物種,促使主體材料結(jié)構(gòu)改變,進(jìn)而使光照區(qū)域的溶解度發(fā)生轉(zhuǎn)變,經(jīng)過顯影和刻蝕,實(shí)現(xiàn)圖形從掩模版到基底的轉(zhuǎn)移。對(duì)于某些光刻膠來說,主體材料本身也可以充當(dāng)光敏材料。依據(jù)主體材料的不同,光刻膠可以分為基于聚合物的高分子型光刻膠,基于小分子的單分子樹脂(分子玻璃)光刻膠,以及含有無機(jī)材料成分的有機(jī)-無機(jī)雜化光刻膠。本文將主要以不同光刻膠的主體材料設(shè)計(jì)來綜述EUV光刻膠的研發(fā)歷史和現(xiàn)狀。金屬氧化物光刻膠使用金屬離子及有機(jī)配體構(gòu)建其主體結(jié)構(gòu),借助光敏基團(tuán)實(shí)現(xiàn)光刻膠所需的性能。上海LCD觸摸屏用光刻膠

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由于EUV光刻膠膜較薄,通常小于100nm,對(duì)于精細(xì)的線條,甚至不足50nm,因此光刻膠頂部與底部的光強(qiáng)差異便顯得不那么重要了。而很長一段時(shí)間以來,限制EUV光刻膠發(fā)展的都是光源功率太低,因此研發(fā)人員開始反過來選用對(duì)EUV光吸收更強(qiáng)的元素來構(gòu)建光刻膠主體材料。于是,一系列含有金屬的EUV光刻膠得到了發(fā)展,其中含金屬納米顆粒光刻膠是其中的典型。2010年,Ober課題組和Giannelis課題組首度報(bào)道了基于HfO2的金屬納米顆粒光刻膠,并研究了其作為193nm光刻膠和電子束光刻膠的可能性。隨后,他們將這一體系用于EUV光刻,并將氧化物種類拓寬至ZrO2。他們以異丙醇鉿(或鋯)和甲基丙烯酸(MAA)為原料,通過溶膠-凝膠法制備了穩(wěn)定的粒徑在2~3nm的核-殼結(jié)構(gòu)納米顆粒。納米顆粒以HfO2或ZrO2為核,具有很高的抗刻蝕性和對(duì)EUV光的吸收能力;而有機(jī)酸殼層不但是光刻膠曝光前后溶解度改變的關(guān)鍵,還能使納米顆粒穩(wěn)定地分散于溶劑之中,確保光刻膠的成膜性。ZrO2-MAA納米材料加入自由基引發(fā)劑后可實(shí)現(xiàn)負(fù)性光刻,在4.2mJ·cm?2的劑量下獲得22nm寬的線條;而加入光致產(chǎn)酸劑曝光并后烘,利用TMAH顯影則可實(shí)現(xiàn)正性光刻。普陀i線光刻膠樹脂彩色光刻膠及黑色光刻膠市場(chǎng)也呈現(xiàn)日韓企業(yè)主導(dǎo)的格局,國內(nèi)企業(yè)有雅克科技、飛凱材料、彤程新材等。

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關(guān)于光刻膠膜對(duì)EUV光的吸收能力,研究人員的觀點(diǎn)曾發(fā)生過較大的轉(zhuǎn)變。剛開始研究人員認(rèn)為光刻膠應(yīng)對(duì)EUV盡量透明,以便EUV光可以順利透過光刻膠膜。對(duì)于紫外、深紫外光刻來說,如果光子不能透過膠膜,則會(huì)降低光刻的對(duì)比度,即開始曝光劑量和完全曝光劑量之間存在較大的差值,從而使曝光邊界處圖案不夠陡直。所以,早期的EUV光刻膠研發(fā)通常會(huì)在分子結(jié)構(gòu)中引入Si、B等EUV吸收截面較小的元素,而避免使用F等EUV吸收截面較大的元素。隨后研究人員又發(fā)現(xiàn),即使是對(duì)EUV光吸收較強(qiáng)的主體材料,還是“過于透明”了,以至于EUV光刻的靈敏度難以提高。因此,科研人員開始轉(zhuǎn)向?qū)で笪崭鼜?qiáng)的主體材料,研發(fā)出了一系列基于金屬元素的有機(jī)-無機(jī)雜化光刻膠。

目前使用的ZEP光刻膠即采用了前一種策略。日本瑞翁公司開發(fā)的ZEP光刻膠起初用于電子束光刻,常用的商用品種ZEP520A為α-氯丙烯酸甲酯和α-甲基苯乙烯的1∶1共聚物。氯原子的引入可提高靈敏度,此外苯乙烯部分也可提高抗刻蝕性和玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。采用后一種策略時(shí),常用的高分子主鏈有聚碳酸酯和聚砜。2010年,美國紐約州立大學(xué)的課題組報(bào)道了一系列以聚碳酸酯高分子為主體材料的光刻膠,高分子主鏈中具有二級(jí)或三級(jí)烯丙酯結(jié)構(gòu)可在酸催化下裂解形成雙鍵和羧酸。此外,他們還在高分子中引入了芳香基團(tuán),以增強(qiáng)其抗刻蝕性??色@得36nm線寬、占空比為1∶1的線條,22.5mJ·cm?2的劑量下可獲得線寬為26nm的線條。高壁壘和高價(jià)值量是光刻膠的典型特征。光刻膠屬于技術(shù)和資本密集型行業(yè),全球供應(yīng)市場(chǎng)高度集中。

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為了解決EUV光刻面臨的新問題,適應(yīng)EUV光刻的新特點(diǎn),幾大類主體材料相繼應(yīng)用于EUV光刻的實(shí)踐之中,常用的策略如下。1)提高靈敏度:引入對(duì)EUV吸收截面大的元素,使用活化能更低的反應(yīng)基團(tuán)和量子效率更高的光敏劑,應(yīng)用化學(xué)放大機(jī)理;2)提高分辨率:減小化合物的體積(即降低化合物的分子量),增強(qiáng)光刻膠對(duì)基底的黏附力和本身的剛性;3)降低粗糙度:減小化合物的體積或納米顆粒的尺寸,減少活性物種在體系內(nèi)部的擴(kuò)散,降低光刻膠的靈敏度;4)提高對(duì)比度:降低光刻膠主體材料對(duì)光的吸收;5)提高抗刻蝕性:引入金屬元素或芳香結(jié)構(gòu);6)提高成膜性能:引入非對(duì)稱、非平面的柔性基團(tuán)以防止結(jié)晶。目前,中國本土光刻膠以PCB用光刻膠為主,平板顯示、半導(dǎo)體用光刻膠供應(yīng)量占比極低。華東光交聯(lián)型光刻膠光致抗蝕劑

按曝光波長可分為紫外光刻膠、深紫外光刻膠、極紫外光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠等。上海LCD觸摸屏用光刻膠

加強(qiáng)光刻膠的機(jī)理研究,對(duì)新型光刻膠的設(shè)計(jì)開發(fā)、現(xiàn)有光刻技術(shù)的改進(jìn)都是大有裨益的。另外,基礎(chǔ)研究也需要貼合產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)際和需求,如含鐵、鈷的光刻膠,盡管具有較好的光刻效果,但由于鐵、鈷等元素在硅基底中擴(kuò)散速度很快,容易造成器件的污染,基本沒有可能投入到產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用中去。光刻膠的研發(fā)和技術(shù)水平,能夠影響一個(gè)國家半導(dǎo)體工業(yè)的健康發(fā)展。2019年,日本就曾經(jīng)通過限制EUV光刻膠出口來制約韓國的芯片生產(chǎn)。因此,唯有加強(qiáng)我國自主的光刻膠研發(fā),隨著光刻技術(shù)的發(fā)展,不斷開發(fā)出新材料、新配方、新工藝,才能保證我國的半導(dǎo)體工業(yè)的快速和健康發(fā)展。上海LCD觸摸屏用光刻膠

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中山靜音散熱風(fēng)扇生產(chǎn)廠家

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能率 等 49 人贊同該回答

能率熱水器采用的是封閉式燃燒)由于燃燒時(shí)受熱的強(qiáng)熱空氣受困在換熱器中,產(chǎn)生劇烈的振蕩從而發(fā)出較敞開式燃燒響得多的聲音。這里還有一個(gè)空氣箱原理,將燃燒的響聲在換熱器里作了放大并通過換熱器壁傳向空間。二是 。

山西錫絲激光焊錫機(jī)批發(fā)
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第1樓
激光 等 28 人贊同該回答

激光焊錫機(jī)的激光束直徑可以通過以下方式進(jìn)行調(diào)節(jié):透鏡調(diào)節(jié):激光焊錫機(jī)通常利用透鏡系統(tǒng)對(duì)激光束進(jìn)行聚焦和調(diào)節(jié)。通過調(diào)整透鏡的位置或替換不同焦距的透鏡,可以改變激光束的直徑和聚焦效果。向透鏡靠近使激光束變 。

四川安裝空氣能商家
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第2樓
用戶 等 43 人贊同該回答

用戶在購買空氣能設(shè)備時(shí),不僅需要考慮自己的實(shí)際需求和用途,還需要考慮到設(shè)備的能效和性能。首先,用戶需要根據(jù)自己的實(shí)際需求和用途,選擇合適的型號(hào)和規(guī)格。不同型號(hào)和規(guī)格的空氣能設(shè)備具有不同的性能和用途,用 。

四川安裝空氣能商家
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第3樓
用戶 等 87 人贊同該回答

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無錫烏克蘭國立大學(xué)留學(xué)貴嗎
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第4樓
也沒 等 75 人贊同該回答

也沒啥辦法,中國人口多,我們大多數(shù)人沒吃到人口的紅利,反而被卷的心累。在這種重復(fù)的過程中,國內(nèi)學(xué)生怎么可能學(xué)會(huì)合作?只能單一的卷,先搞死校友,再卷掉區(qū)里或市里的其他參賽選手。卷不動(dòng)的,自然被摁在地上摩 。

山東TP304不銹鋼圓管單價(jià)
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第5樓
實(shí)際 等 31 人贊同該回答

實(shí)際上,不銹鋼是以全標(biāo)準(zhǔn)的金屬形狀和尺寸生產(chǎn)制造的,而且還有許多特殊形狀。常用的產(chǎn)品是用薄板和帶鋼制成的,也用中厚板生產(chǎn)特殊產(chǎn)品,例如,生產(chǎn)熱軋結(jié)構(gòu)型鋼和擠壓結(jié)構(gòu)型鋼。而且還有圓型、橢圓型、方型、矩型 。

揭陽空間全案需求
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第6樓
每個(gè) 等 51 人贊同該回答

每個(gè)人對(duì)房屋建造的需求感有所不同,從喜好習(xí)慣以及對(duì)居住空間的要求需求,才能夠從這方面著手分析具體該如何去調(diào)整自己的方案。當(dāng)然在選擇空間全案時(shí)更需要考慮到不同戶型的選擇,比如說經(jīng)濟(jì)小戶型該如何設(shè)計(jì),豪華 。

石家莊大型保鮮冷庫
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第7樓
果蔬 等 55 人贊同該回答

果蔬貯藏冷庫是果蔬產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,對(duì)于保證果蔬的新鮮度和營養(yǎng)價(jià)值具有不可替代的作用。冷庫可以提供穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境,使果蔬得以長期保存,同時(shí)也能避免因溫度波動(dòng)引起的品質(zhì)損失。此外,冷庫還能有效地 。

廣東手工粘扣帶織造
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第8樓
汽車 等 76 人贊同該回答

汽車粘扣帶是一種用于固定汽車零部件的特殊材料。它由兩個(gè)部分組成:一部分是帶有鉤子的尼龍帶,另一部分是帶有環(huán)的尼龍帶。當(dāng)這兩個(gè)部分接觸時(shí),它們會(huì)相互粘合,從而固定汽車零部件。汽車粘扣帶具有許多優(yōu)點(diǎn)。首先 。

四川電纜橋架廠家批發(fā)
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第9樓
為確 等 54 人贊同該回答

為確??拐鹬Ъ苷w安全性,抗震支架所有部件含槽鋼,抗震連接件、螺杄、錨栓等)均應(yīng)由同一廠商提供,不得分別從不同的供應(yīng)商處采購。提供抗震支架整體的報(bào)告:整體振動(dòng)性能測(cè)試報(bào)告、整體防火性能測(cè)試報(bào)告,確???。

南寧住宅保安外包派遣
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第10樓
保安 等 92 人贊同該回答

保安人員的能力分析主要是指保安人員的專業(yè)技能、工作經(jīng)驗(yàn)、身體素質(zhì)等方面的能力。只有在客戶的需求和保安人員的能力相匹配的情況下,才能夠提供高質(zhì)量的個(gè)性化保安外包服務(wù)。個(gè)性化保安外包的服務(wù)流程主要包括三個(gè) 。

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